酸開(kāi)封機(jī)Decap
一? 優(yōu)點(diǎn)：
- 創(chuàng)新的軟件
- 動(dòng)態(tài)刻蝕時(shí)間調(diào)節(jié)
- 多酸沖洗選項(xiàng)
- 占地面積小
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一? 優(yōu)點(diǎn)：
- 創(chuàng)新的軟件
- 動(dòng)態(tài)刻蝕時(shí)間調(diào)節(jié)
- 多酸沖洗選項(xiàng)
- 占地面積小
Elite Etch是一臺(tái)自動(dòng)混酸開(kāi)封機(jī)，通過(guò)整合了先進(jìn)的特點(diǎn)使得它可以獲得更高的產(chǎn)能。新開(kāi)封機(jī)的設(shè)計(jì)通過(guò)將硝酸、硫酸或混酸準(zhǔn)確分配到器件上，可以更加快速和容易的打開(kāi)精細(xì)的封裝，而不會(huì)損傷樣品。
Elite Etch 酸開(kāi)封機(jī)內(nèi)包含了眾多工程創(chuàng)新。整體式刻蝕頭組件是由高等級(jí)的碳化硅加工而成，可以非常卓越的用來(lái)抵抗酸腐蝕。再加上主動(dòng)氮?dú)獗O(jiān)測(cè)和清洗系統(tǒng)，這一整體設(shè)計(jì)可以在刻蝕后降低殘留在刻蝕頭上酸的揮發(fā)。
開(kāi)封機(jī)尺寸 | 190 x 318 x 305 mm (W x D x H) |
瓶子組件尺寸 | 254 x 127 x 279 mm (W x D x H) |
重量 | 16 Kg |
氣體壓力 | 55 - 70 psi. (N2) or CDA |
電源 | 220V / 50Hz |
酸溫度范圍 | 20℃- 250℃ |
酸溫度設(shè)定值 | 1.0℃- 0.1℃ |
刻蝕腔(可高達(dá)) | 22 x 22 mm |
酸的選擇 ：發(fā)煙硫酸/發(fā)煙硝酸/混酸。
注意: 所有混合比例都是在泵系統(tǒng)內(nèi)部動(dòng)態(tài)準(zhǔn)備的。
混酸比例 (硝酸到硫酸比例)： 9:1, 5:1, 4:1, 3:1, 2:1, 1:1。
刻蝕后沖洗選擇：發(fā)煙硫酸/發(fā)煙硝酸/混酸/無(wú)沖洗。
注意: 酸的沖洗溫度設(shè)定是根據(jù)刻蝕溫度自動(dòng)校準(zhǔn)的。
刻蝕時(shí)間： 1 - 1,800 seconds ( 1秒的增加幅度)。
注意: 刻蝕時(shí)間能夠在刻蝕期間動(dòng)態(tài)調(diào)整。
刻蝕形式 ：(i) 脈沖刻蝕 (ii) 往復(fù)刻蝕 。
刻蝕溫度范圍 ：20℃- 90℃ (硝酸) /20 - 250℃(硫酸) /20 - 100℃ (混酸)。
刻蝕劑流量選擇：1 - 6 ml.每分鐘（所有酸和混酸）。
操作程序存儲(chǔ) ：100 個(gè)程序存儲(chǔ)，非易丟失存儲(chǔ)器。
軟件升級(jí)：通過(guò)RS232或USB連接電腦。
EMO緊急停電源開(kāi)關(guān)。
刻蝕頭安全：超溫保護(hù)傳感器電路
泄露檢查傳感器： (i) 開(kāi)封機(jī)主體；(ii) 酸瓶盒組件。
二級(jí)防護(hù)：真正的二級(jí)防護(hù)。
酸煙霧降低：廢酸熱交換以較小化酸煙霧。
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