聚焦離子束FIB
電子光學(xué)
NICol非浸沒式超高分辨率場發(fā)射掃描鏡筒,配有:
? 高亮度肖特基場發(fā)射電子搶,用于提供穩(wěn)定的高分辨率分析電流
? 60度雙物鏡透鏡,支持傾斜的樣品
? 全自動加熱式光闌,可確保清潔和無接觸式更換光闌孔
? 連續(xù)電子束電流控制和優(yōu)化的光闌角度
? 電子槍安裝和維護(hù)簡單-自動烘烤,自動啟動,無需機械合軸
? 雙物鏡透鏡,結(jié)合電磁透鏡和靜電透鏡
? 兩級掃描偏轉(zhuǎn)
? 雙物鏡透鏡,結(jié)合電磁透鏡和靜電透鏡
? 電子源壽命至少24個月
電子束分辨率
在好的工作距離下
? 30keV下 STEM 0.7nm
? 1keV 下 1.4nm 15keV下1nm
? 1keV下 電子束減速模式 1.2nm